孙健将BSEC赶上Gikon的希望主要寄托在全球光刻机产业被卡在193n波长的世界性光学难题上。
BSEC借助于出售磁悬浮式双工作台系统技术收取的专利费,于1995年实现盈利后,拿到了特批的上市额度,在鹏交所公开发行了15亿股(包括1000万职工股),发行价6元,融资873亿元(扣除发行费用),其中8亿元用于研发8英寸晶圆和500n制程工艺光刻机,073亿元用于补充公司流动资金。
总股本增加到95亿股,每股净资产345元。
1996年6月24日,BSEC在鹏城证券交易所成功上市(其中1000万职工股于6个月后流通),首日以1758元收盘,上涨1158元,涨幅193。
光刻机被称为工业皇冠上的明珠,是一个国家科技实力的综合体现。
1997年最高涨到4578元,BSEC成为鹏沪股市第一科技股。
BSEC1996每股分红12元;1997年10配3股,1998年10送13元,1999年10送18元,2000年10送2股,如今总股本增加到1521亿股,总资产9652亿元,净资产5703亿元,每股净资产375元。
周三,BSEC收盘2754元,总市值419亿元。
公司有重大事项公布,已经申请临时停牌。
BSEC属于上市公司,孙健也不敢隐瞒,研制成功90n制程工艺的光刻机知道的人太多,公司管理层和普通员工都是股民,都在BSEC的职工股上赚了一大笔钱。
连李昌杰都不知道,BSEC研究院院长邓国辉院士和光刻机光学研究所所长钱富强研究员率领光源研究所的140多名研发人员,经过近3年的潜心研究,在孙健的“点拨”下,终于在1999年7月研制成功浸没式光刻系统技术,ArF激光器发射的193n光源通过纯净水的折射,得到了波长134n的光源,解决了业界遇到的193n波长的世界级难题,因所用的光学系统是委托CarlZeissAG生产的,没有完全自主的知识产权,秘而不宣,等BSEC光刻机光源研究所研制的光学系统达到要求后,再申请公司发明专利。
只能委屈钱富强和140多名研发人员(签了保密条例)。
邓国辉和钱富强从1999年8月开始立项,BSEC投资1亿元,带领光刻机光源研究所,静下心来开始研发EUV。
作为上市公司,BSEC发布公告,投资1亿元继续研究193n波长的世界级难题。
即使能得到蔡司公司最先进的透镜和反射镜系统,有资金支持,孙健也怀疑BSEC研究院能否在20年内研制成功EUV光刻机?
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